MEMS微振镜 模块


MEMS微振镜指标

镜面直径6mm(6~8mm可定制);

FOV:60°×60°(100°×45°可定制);

角度分辨率:0.1°×0.1°;

驱动方式:电磁驱动;

工作温度:-40℃~120℃;

抗冲击性能:1500g(和公司配套隔振器搭配使用)

MEMS微振镜可直接通过车规级振动、高低温等环境实验